SJT 10535-1994 半导体器件用钨舟
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ID： |
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文件大小(MB)： |
0.41 |
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5 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 10535—94,半导体器件用鸨舟,Tungsten boat for semiconductor devices,1994-08-08 发布1994-12-0I 实施,中华人民共和国电子工业部发布,中华人民共和国电子行业标准,半导体器件用鸨舟,SJ/T T0535—94,Tungsten boat for semiconductor devices,1主题内容与适用范舄,1.I 本标准规定了半导体器件用铛舟的牌号丒、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标,志、包装、运输及贮存,1.2 本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的铐板（片）材制作的各种形状的铛舟及工装舟1 レ0,2引用标准,GB 3875 铝板,GB 4181 铛丝,GB 4196 鸨、铝条密度测定方法,GB 4342. 1 ..30 铛化学分析方法,3产品分类,3.1铝舟牌号:以“鸨”“舟”两安的汉语拼音字母WZO命名,3. 2鸨舟的型号:鸨舟型号用“V\"U”表示,其中每型号下的不同种类用I、!、夏……表,示,如V- I表示V型有压边,VT表示无压边（见表1）,3. 3铛舟规格用数字表示如一03-15,其中03表示舟壁厚度,“ 15”表示舟宽,3.4 铛舟牌号、型号、种类与规格示例,WZO,铛舟牌号,中华人民共和国电子工业部1994-08-08批准1994-12-01 实施,1,SJ/T 10535—94,表示牌号为WZO,V型无压边,舟壁厚度为0. 3mm,舟宽为!5mm的铝舟,3.5铛舟牌号、型号与用途见表1,表1,牌 号 型号与种类用 途,WZO V-1 ,有压边,V-H,无压边,U7 ,椭,U-N ,圆形,金属及非金属,真空蒸镀,电子束溅散蒸镀,金属材料高温通火、烧,结,电真空器件,光学玻璃、铭版等表面覆层,复合材料用舟皿,4技术要求,4.I 化学成分,化学成分按GB 418I中W1牌号,4.2 规格尺寸,规格尺寸按表2（如有特殊要求可由供需双方协商）,表2,牌号、型号、种类,及规格,尺 寸,厚度E 宽度8 总长七舟长2 深度ん,WZ()-V* I -04*20 0> 4 20 100,WZO-V- I -05-20 0. 5 20 100 90 3,WZO-V- I -06-24 0. 6 24 120,WZO-V- H -03-15,0. 3,15,WAO-V** ロ -03*05 5 110 50 1 2. 5.3,*,WZO-V- U -03-07 7,WZO-U-I-03-16 0. 3 16,50.110,30,3,.,WZO-LJ- H -03-24 0. 3 24 36,WZ()-U"t 同-04** 16 1 0.4 16 30,WZOUW-05-26 〇. 5 26,?t,5〇.100,22,WZO-U-IV-05-24 0. 5 24 20 3,WZO-U-IV-04-24 0.4 24 20,4.3 密度,金属的密度为19.0g/cn?.,4.4 铃舟个重,根据用户要求协商解决,4.5 熔点,熔点为3300P,4.6 表面质量,2,SJ/T 10535—94,4.6.1铛舟应洁净,呈银白色金属光泽,允许舟皿表面有轻微的氧化色」旦不得有大面枳深色,及黑班点,电解抛光鸨舟允许有小于2mm2面积的未抛光点ー处,4.6.2坞舟表面不应有开裂、分层、龟裂、缺边及掉角现象。舟的各种部位不应有毛剌,4.7物理性能,承制方选用的铛板的物理性能应符合GB 3875的要求,5 试验方法,5,5,5,5,5,5,1,2,3,4,5,6,曽舟的化学成分4. 1条按GB 4324. 1.,30中有关标准进行分析,铛舟的规格尺寸4.2条用精度为0. 02mm和0. 01mm的卡尺和千分尺进行测量,曽舟的密度4. 3条按GB 4196进行测量,鸨舟的重量（个）4.4条用感量为0. 2g的天平进行称量,鸨舟的熔点4. 5条的测量,在铛舟化学成分合格的条件下可以不进行测量,鸨舟的表面质量4. 6条用目视进行检査,6检验规则,6.1 检验批,检验批必须由同一成分、同一エ艺、连续生产的同一种类的产品组成,6.2 交收检验,6. 2.1产品应由供方检验部门,按本标准要求进行检验,保证产品符合本标准的要求,6. 2. 2需方在收到产品之日起,两个月内按本标准进行验收,如果复验结果与本标准规定不,符合时,由供需双方协商解决,6.3抽样方案与判定规则,6. 3.1化学成分的检验,在每ー批料中随机抽取ー个样品进行化学成分的分析,如不符合要,求,另加倍取样进行分析,取其平均值,如仍不符合要求,则该批料为不合格,6.3.2鸨舟的规格尺寸进行百分之进的检验,6.3.3铛舟的密度的检验;在每ー批料中任取ー个试样进行密度测量。如果不合格,则三倍取,样进行测定,如其中两个样品不合格,则该批料为不合格,6丒3.4铛舟单个重量的检验应从100只舟皿中随机抽取ー个样品进行测定,如不合格,则三,倍取样进行测定,如果三个试样中,有两个不合格,则该100只舟皿为不合格,6. 3.5鸨舟的表面质量用目视进行百分之百的检验,包装、标志、运输与此存,7.1包装,检验合格的鸨舟,每10只用牛皮纸包裹（防止表面划伤及脆断）,然后再装入塑料袋内,每,盒装20包?每4盒装入木箱后,箱内充以防震纸屑后,用铁皮包扎,7.2标志,7.2.1内包装盒内应附有标签或产品合格证并表明:,a.材料名称;,b.生产批号;,3,SJ/T 10535-94,■w,C 规格尺寸;,d,数量;,e. 检验部门印记、检验员印章;,￡.生产日期、出……
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